武漢紅外 溫度傳感器工藝

即溫度傳感器的輸出導線(xiàn)與鋁層連接以通過(guò)鋁層與金屬鉑層連接。上述鉑熱電阻傳感器，利用金屬鉑在溫度變化時(shí)自身電阻值也會(huì )隨著(zhù)溫度改變的特性來(lái)測量溫度，溫度傳感器的輸出端子與顯示儀表連接，顯示儀表會(huì )顯示受溫度影響得到的鉑電阻對應的溫度值。在一實(shí)施例中，因上述熱電阻傳感器中上層有金屬結構如金屬鋁和金屬鉑，對于直接暴露在空氣中時(shí)容易氧化的金屬層，其上還形成有一層鈍化層，可對金屬層進(jìn)行保護。同時(shí)，需要在對應溫度傳感器引出端子處開(kāi)設有通孔，通過(guò)通孔可引出輸出端子。在本實(shí)施例中，是在兩端的金屬鋁上方的鈍化層開(kāi)設有通孔。鈍化層可為氧化硅層或氮化硅層，也可為疊設的氧化硅層和氮化硅層。在一實(shí)施例中，測溫單元為一熱電偶傳感結構，包括：多晶硅層，包括并排且間隔設置的n型多晶硅條和p型多晶硅條；和第三金屬層。第三金屬層包括位于相鄰多晶硅條之間的金屬結構，n型多晶硅和p型多晶硅通過(guò)金屬結構串聯(lián)，第三金屬層還包括位于多晶硅層外側兩端的第二金屬結構，用于引出溫度傳感器的輸出端子。如圖和圖所示，氧化硅薄膜上形成有一層多晶硅層。該多晶硅層包括并排且間隔設置的n型多晶硅條和p型多晶硅條。溫度傳感器哪家服務(wù)好？認準深圳市美信美科技有限公司。武漢紅外 溫度傳感器工藝

p型多晶硅可為在多晶硅內部摻雜ⅲ族元素形成導電類(lèi)型為p型的多晶硅，且其內部摻雜均勻。n型多晶硅條和p型多晶硅條形狀相同，在本方案中，n型多晶硅條和p型多晶硅條為長(cháng)條型，多晶硅條平行設置，具有相同的間距。步驟s135：在多晶硅層上淀積第三金屬層，第三金屬層包括位于相鄰多晶硅條之間的金屬結構，n型多晶硅條和p型多晶硅條通過(guò)金屬結構串聯(lián)，第三金屬層還包括位于多晶硅層外側兩端的第二金屬結構，用于引出溫度傳感器的輸出端子。繼續參見(jiàn)圖5和圖6，在多晶硅層50上淀積第三金屬層60，第三金屬層60包括金屬結構61和第二金屬結構62。金屬結構61位于相鄰多晶硅條之間以連接該多晶硅條，具體為位于相鄰多晶硅條端部位置，所有n型多晶硅條51和p型多晶硅條52通過(guò)該金屬結構61形成一串聯(lián)結構，因此，當具有m個(gè)多晶硅條時(shí)，需要m-1個(gè)金屬結構61使多晶硅條串聯(lián)起來(lái)。一個(gè)n型多晶硅條與一個(gè)p型多晶硅條串聯(lián)形成一個(gè)塞貝克(seebeck)結構，在本方案中，是多個(gè)塞貝克結構串聯(lián)形成一個(gè)測溫單元，因此，m需為偶數。第二金屬結構62淀積于多晶硅層外側的兩端，以便于引出溫度傳感器的輸出端子。在本實(shí)施例中，第三金屬層60為金屬鋁層。上述熱電偶傳感結構，利用半導體兩端的溫度不同時(shí)。上海NTC溫度傳感器報價(jià)進(jìn)口的德州溫度傳感器，就找深圳美信美科技。

上述溫度傳感器制備方法，可以得到氧化硅薄膜，且氧化硅薄膜與硅通過(guò)空腔隔離，空腔下方的硅不會(huì )影響上方氧化硅薄膜的隔離效果，因此無(wú)需通過(guò)深槽刻蝕工藝將多余的硅刻蝕掉，簡(jiǎn)化了制備過(guò)程，節約制備時(shí)間，節省了制備成本。由于氧化硅薄膜導熱率低，將測溫單元制備在氧化硅薄膜上，具有較好的測溫效果，使溫度傳感器性能更加穩定。本發(fā)明還涉及一種溫度傳感器，包括：基底，基底包括硅片和在硅片上形成的氧化硅薄膜，硅片和氧化硅薄膜之間形成有空腔；和測溫單元，測溫單元形成于所述空腔上方的氧化硅薄膜上，所述測溫單元用于感測環(huán)境溫度。如圖2c所示，基底包括硅片20和氧化硅薄膜23，硅片20和氧化硅薄膜之間形成有空腔22。測溫單元是溫度傳感器的工作單元，溫度傳感器通過(guò)該測溫單元感知溫度后形成電信號并輸出，在本方案中，測溫單元形成于氧化硅薄膜23上且位于空腔上方。在一實(shí)施例中，測溫單元為一熱電阻傳感結構，包括：金屬層，金屬層為金屬鉑層，金屬鉑層呈連續弓字形結構；和第二金屬層，位于金屬鉑層外側兩端，用于引出溫度傳感器的輸出端子。如圖3和圖4所示，氧化硅薄膜23上淀積有一層金屬層30，該金屬層30為金屬鉑層，即熱電阻傳感結構選用鉑熱電阻。

在一實(shí)施例中。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營(yíng)范圍包括：一般經(jīng)營(yíng)項目是：電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開(kāi)發(fā)與銷(xiāo)售；國內貿易等。本公司主營(yíng)推廣銷(xiāo)售AD（亞德諾）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NXP等國際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應用于：汽車(chē)、通信、消費電子、工業(yè)控制、醫療器械、儀器儀表、安防監控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù)，誠信合作的原則。以現代化管理以及優(yōu)勢的渠道價(jià)格、良好的信譽(yù)與廣大客戶(hù)建立了長(cháng)期友好的合作關(guān)系，為廣大廠(chǎng)商和市場(chǎng)客戶(hù)提供優(yōu)勢的產(chǎn)品服務(wù)?？梢詫囟葌鞲衅鲀奢敵龆俗幼鳛槔涠饲冶３掷涠藴囟群愣?，將串聯(lián)的多晶硅層作為熱端感測實(shí)際環(huán)境溫度，當環(huán)境溫度發(fā)生變化時(shí)，冷端和熱端的溫差發(fā)生變化，因此冷端的電勢會(huì )發(fā)生變化，與顯示儀表連接后，顯示儀表會(huì )顯示熱電偶受當前環(huán)境溫度影響得到的電勢所對應的熱端溫度，即當前環(huán)境溫度。通常，形成測溫單元還包括鈍化步驟，即，步驟s：在金屬層上形成鈍化層，并在鈍化層上對應溫度傳感器引出輸出端子處設有通孔。因上述熱電偶傳感器中上層有金屬結構如金屬鋁層，對于直接暴露在空氣中時(shí)容易氧化的金屬層，其上還形成一層鈍化層，可對金屬結構進(jìn)行保護。同時(shí)。買(mǎi)溫度傳感器，認準深圳美信美科技有限公司。

利用金屬鉑在溫度變化時(shí)自身電阻值也會(huì )隨著(zhù)溫度改變的特性來(lái)測量溫度，溫度傳感器的輸出端子與顯示儀表連接，顯示儀表會(huì )顯示受溫度影響得到的鉑電阻對應的溫度值。通常，形成測溫單元還包括鈍化步驟，即，步驟s133：在金屬層上形成鈍化層，并在鈍化層上對應所述溫度傳感器引出輸出端子處設有通孔。因上述熱電阻傳感器中上層有金屬結構如金屬鋁和金屬鉑，對于直接暴露在空氣中時(shí)容易氧化的金屬層，其上還形成一層鈍化層，可對金屬層進(jìn)行保護。同時(shí)，需要在對應溫度傳感器引出端子處開(kāi)設通孔，通過(guò)通孔可引出輸出端子。在本實(shí)施例中，是在兩端的金屬鋁上方的鈍化層開(kāi)設通孔。鈍化層可為氧化硅層或氮化硅層，也可為疊設的氧化硅層和氮化硅層。在一實(shí)施例中，測溫單元為一熱電偶傳感結構，其具體形成過(guò)程為：步驟s134：在所述氧化硅薄膜上淀積一層多晶硅層，所述多晶硅層包括并排且間隔設置的n型多晶硅條和p型多晶硅條。如圖5和圖6所示，在氧化硅薄膜23上淀積一層多晶硅層50，該多晶硅層50包括并排且間隔設置的n型多晶硅條51和p型多晶硅條52。n型多晶硅可為在多晶硅內部摻雜ⅴ族元素形成導電類(lèi)型為n型的多晶硅，且其內部摻雜均勻。溫度傳感器現貨廠(chǎng)家，美信美科技就是牛。珠海雙極型溫度傳感器精度哪家好

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如圖c所示，基底包括硅片和氧化硅薄膜，硅片和氧化硅薄膜之間形成有空腔。測溫單元是溫度傳感器的工作單元，溫度傳感器通過(guò)該測溫單元感知溫度后形成電信號并輸出，在本方案中，測溫單元形成于氧化硅薄膜上且位于空腔上方。在一實(shí)施例中，測溫單元為一熱電阻傳感結構，包括：金屬層，金屬層為金屬鉑層，金屬鉑層呈連續弓字形結構；和第二金屬層，位于金屬鉑層外側兩端，用于引出溫度傳感器的輸出端子。如圖和圖所示，氧化硅薄膜上淀積有一層金屬層，該金屬層為金屬鉑層，即熱電阻傳感結構選用鉑熱電阻。在另一實(shí)施例中，也可選用其他電阻溫度系數較高的材料如鎳、鐵等。為減小溫度傳感器的尺寸，在小尺寸的基底上增大鉑熱電阻的接觸面積，鉑熱電阻呈連續弓字形結構(如圖所示)。金屬鉑層外側兩端淀積有一層第二金屬層。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營(yíng)范圍包括：一般經(jīng)營(yíng)項目是：電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開(kāi)發(fā)與銷(xiāo)售；國內貿易等。本公司主營(yíng)推廣銷(xiāo)售AD（亞德諾）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NXP等國際有名品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應用于：汽車(chē)、通信、消費電子、工業(yè)控制、醫療器械、儀器儀表、安防監控等領(lǐng)域。該第二金屬層可為金屬鋁層。武漢紅外 溫度傳感器工藝

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